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SA25_4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

SA25_4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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SA25_4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

SA25_4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

產(chǎn)品描述


4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
SA25_SA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
 
  • ● 采用閉環(huán)伺服控制
  • ● 可選配免電池絕對式編碼器
  • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程
  • ● 末端執(zhí)?器類型:下托式

臂長

250mm

額定/最大負(fù)載

5晶圓

搬運(yùn)物

Φ100~Φ300mm晶圓

新時達(dá)眾為興SA25_4軸大氣5片晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

關(guān)鍵詞:

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規(guī)格參數(shù)

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